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一种提高光电元件耦合容忍度的方法,其通过半导体制作工艺,如微影、沉积、镀着、蚀刻等,在光电元件晶粒上形成一定位及固定用之微球透镜嵌座(Micro  Ball-lens  Socket),嵌座中心对应光电元件晶粒的光耦合或输出中心;将微球透镜...
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