温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜，包括光源（１），依次放在光源发射端的准直扩束器（２）、第一偏振分光镜（１０），放置在第一偏振分光镜（１０）反射光路上的第一１／４波片（１１）...
该专利属于哈尔滨工业大学;赵维谦所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学;赵维谦授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。