温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种微机械光纤定位器，属于微机械和光学技术领域。本发明包括：定位槽和挠性夹，挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括：单晶硅衬底和截面槽，截面槽设在单晶硅衬底上，所述的挠性夹包括：金属基座和挠性片，金属基座和挠性片设在同一平面内，金属基座和...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。