微机械光纤定位器制造技术

一种微机械光纤定位器，属于微机械和光学技术领域。本发明专利技术包括：定位槽和挠性夹，挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括：单晶硅衬底和截面槽，截面槽设在单晶硅衬底上，所述的挠性夹包括：金属基座和挠性片，金属基座和挠性片设在同一平面内，金属基座和挠性片为一体化结构，金属基座和挠性片的底面均与单晶硅衬底的顶面贴合，金属基座设在单晶硅衬底表面上，金属基座与单晶硅衬底之间通过溅射金属时产生的粘附力固定，利用挠性片内部的弹性变形力将光纤固定在定位器中。本发明专利技术易于大批量制作，实现光纤与光纤、光纤与有源模块快速、可靠、精确定位。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种微机械和光学
的器件，具体地说，是一种微机械光纤定位器。
技术介绍
目前，被动定位(passive alignment)技术已成为集成光学器件制备中降低封装成本最为关键的技术之一。其主要思想是利用单晶硅上制备的V型槽实现光纤与光纤，光纤与激光二极管管芯等部件的精确对准。目前，如何在完成对准后将光纤固定在V型槽内是亟待解决的一大难题，现有工艺主要采用胶粘或金属化封装，前者由于胶水在固化过程中会发生蠕变，或者由于热膨胀系数的不同的原因，使光纤在固化的过程中偏离初始对准位置，使得耦合效率有可能远低于初始值。而后者则需要对耦合的光纤做金属化处理，且需要激光点焊机专用处理设备，大大增加了封装成本。为了解决上述问题，人们开始考虑利用近年来出现的微机械技术的原理与方法。经对现有技术的文献检索发现，MartinHoffman等人在《Photonics TechnologyLetters》(光电子技术快报)VOL.12，NO.7，2000，pp828~830上撰文“Fiber ribbonalignment structures based on rhombus-sha本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械光纤定位器，包括：定位槽（１）和挠性夹（２），其特征在于，所述的定位槽（１）包括：单晶硅衬底（５）和截面槽（６），截面槽（６）设在单晶硅衬底（５）上，所述的挠性夹（２）包括：金属基座（３）和挠性片（４），金属基座（３）和挠性片（４）设在同一平面内，金属基座（３）和挠性片（４）为一体化结构，金属基座（３）和挠性片（４）的底面均与单晶硅衬底（５）的顶面贴合，金属基座（３）设在单晶硅衬底（５）表面上，挠性夹（２）设在定位槽（１）的上方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：戴旭涵，赵小林，丁桂甫，蔡炳初，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]