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本发明公开了一种由ITO废靶直接粉碎制粉并生产ITO靶材的制备方法，包括如下步骤：S1、将废靶材进行预处理得到预处理废靶材料；S2、将步骤S1得到的预处理废靶材料依次进行粗碎、中碎、粉碎得到废靶材粉末；S3、将废靶材粉末在500‑1000℃...
该专利属于韶关市欧莱高新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韶关市欧莱高新材料有限公司授权不得商用。

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