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具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜制造技术
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下载具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜的技术资料
文档序号:2672167
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本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域,涉及一种具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜,包括光源(1),依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、偏振分光镜(10),放置在偏振分光镜(10)反射光路上的1/4波片(11)、显微物镜(...
该专利属于哈尔滨工业大学;赵维谦所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学;赵维谦授权不得商用。
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