下载包括中空波导和MEMS反射元件的光路由装置的技术资料

文档序号:2672164

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描述了这样一种光路由装置,该光路由装置包括半导体衬底(52),所述半导体衬底(52)具有至少一个光输入(4)、多个光输出(6,8)和MEMS可移动反射元件阵列(58;102)。可配置所述可移动反射元件阵列(58;102)以使光可从任一光输入...
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