包括中空波导和MEMS反射元件的光路由装置制造方法及图纸

描述了这样一种光路由装置，该光路由装置包括半导体衬底（５２），所述半导体衬底（５２）具有至少一个光输入（４）、多个光输出（６，８）和ＭＥＭＳ可移动反射元件阵列（５８；１０２）。可配置所述可移动反射元件阵列（５８；１０２）以使光可从任一光输入（４）选择性地路由至所述多个光输出（６，８）中的两个或多个的任一个。从任一光输入选择性地路由至多个光输出（６，８）中的两个或多个的任一个的光在空心波导中被引导。在一个实施例中，描述了一种交叉连接的光学矩阵开关。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于电信系统等的光路由装置，尤其涉及包括可移动反射元件阵列的光路由装置。使用光纤链路的电信及数据网络正被逐渐实现。传统上，由光纤承载的光信号被转换成电信号，并且所有的信号路由选择功能都是在电学领域内完成的。然而，近年来已经认识到的是，全光开关设备显示出了降低成本以及穿过光纤网络的与路由信号相关的复杂性的潜力。在EP0221288中描述了全光开关的一个早期实例。该装置包括反射镜，所述反射镜能够被电磁致动器移动以将光信号路由至两个输出中的任一个。在GB2193816中描述了一种可替代的并且更复杂的光开关系统。GB2193816的系统包括框架部件(housing block)，所述框架部件具有多个空心波导(hollow core waveguide)和携带反射镜的控制杆以提供期望的光路由功能，所述反射镜插入所述框架部件。然而，这种类型的装置物理上非常大，并且在EP0221288的情况下，需要比较耗电的致动器。使用微机电系统(MEMS)装置以提供选择路由功能的光路由装置也已公知。例如，由Wood，R.L.，Madadevan，R和Hill，E在2002年3月美国洛杉矶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包括半导体衬底的平面内光路由装置，所述半导体衬底具有至少一个光输入、多个光输出和微机电系统（ＭＥＭＳ）可移动反射元件阵列，所述可移动反射元件阵列可配置成把光选择性的从任一光输入路由至所述多个光输出中的两个或多个的任一个，其特征在于，从任一光输入选择性地路由至所述多个光输出中的两个或多个的任一个的光在空心波导中被引导。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：RM詹金斯，ME麦克尼，DJ库姆斯，J麦奎兰，
申请(专利权)人：秦内蒂克有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]