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本发明公开了一种ITO靶材高纯纳米氧化铟锡粉体制造方法,包括以下步骤:将草酸铟和草酸锡或乙酸铟和乙酸锡按比例溶解于去离子水中形成透明的水溶液,再加入尿素或碳酸铵或碳酸氢铵将上述两种溶液混合后转入反应釜中,然后将反应釜置入烘箱中进行水热反应制...该专利属于中山智隆新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山智隆新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种ITO靶材高纯纳米氧化铟锡粉体制造方法,包括以下步骤:将草酸铟和草酸锡或乙酸铟和乙酸锡按比例溶解于去离子水中形成透明的水溶液,再加入尿素或碳酸铵或碳酸氢铵将上述两种溶液混合后转入反应釜中,然后将反应釜置入烘箱中进行水热反应制...