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本发明是有关于一种用于光学检测的照射系统，包括一个激光器，为产生以第一个光斑对比为特点的输入射束此激光器同时以多横向振荡模式工作。输入射束的横向振荡模式被光学混合来产生具有第二光斑对比的输出射束，此第二光斑对比充分小于第一光斑对比。...
该专利属于应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司授权不得商用。

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