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本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。可变形反射镜，它包括驱动电极和硅膜，其特征在于：驱动电极（７）位于硅膜（６）的下方，驱动电极（７）与硅膜（６）之间的间距为３５－４５μｍ；硅膜（６）的上方设有透明电极（５），透明电极（５）与硅膜（６）之...
该专利属于中国地质大学(武汉)所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学(武汉)授权不得商用。

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