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一种５３２纳米波长的高密度深刻蚀石英透射偏振分束光栅，该光栅的周期为３９５－４１２纳米、刻蚀深度为１．５８０－１．６３０微米，光栅的占空比为１／２。其ＴＥ偏振光和ＴＭ偏振光分别在０级和１级透射，该偏振分束光栅的消光比大于１００，ＴＥ偏振光的...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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