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本实用新型公开了一种半导体镀膜用晶片防护装置，主要解决现有半导体镀膜时，对晶片的非镀膜区进行防护时，导致晶片受热形变出现受损的问题。该晶片防护装置包括与镀膜设备内的样品台固定连接的绝热盘，以及与绝热盘固定连接的伸缩式的晶片圆周卡套；所述绝热...
该专利属于四川科尔威光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川科尔威光电科技有限公司授权不得商用。

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