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液滴喷出装置、结构体形成方法及电光学装置的制造方法制造方法及图纸
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下载液滴喷出装置、结构体形成方法及电光学装置的制造方法的技术资料
文档序号:2670862
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一种液滴喷出装置,包括:向基板喷出含有结构体形成材料的液滴的液滴喷出部、和为了在基板上形成由结构体形成材料构成的结构体,而使已滴落在基板上的液滴干燥的干燥机构。干燥机构具有:能量输出部,其为了使液滴中的结构体形成材料流动,而向已滴落在基板上...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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