液滴喷出装置、结构体形成方法及电光学装置的制造方法制造方法及图纸

技术编号:2670862 阅读:148 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种液滴喷出装置,包括:向基板喷出含有结构体形成材料的液滴的液滴喷出部、和为了在基板上形成由结构体形成材料构成的结构体,而使已滴落在基板上的液滴干燥的干燥机构。干燥机构具有:能量输出部,其为了使液滴中的结构体形成材料流动,而向已滴落在基板上的液滴输出能量;和能线图控制部,其将从所述能量输出部输出的能量的能线图,控制成为结构体形成材料流动的能线图,使得结构体形成材料对应于应形成的结构体的结构剖面图而分布。根据这样构成的液滴喷出装置,能够形成具有希望的结构剖面图的结构体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液滴喷出装置、结构体形成方法、以及电光学装置的制造方法。
技术介绍
一般,在配备液晶显示装置等的滤色器的基板上,形成有由多个点状的着色薄膜构成的光点图形(dot pattern)。着色薄膜通过将含有着色薄膜形成材料的液体喷出在由隔板围成的着色薄膜形成区域,并使已喷出的液体干燥的、所谓的液相工序来形成各着色薄膜。在特开2004-341114号公报中,使用喷墨法作为该液相工序。具体来说,将所述液体以微小液滴喷出在着色薄膜形成区域,并干燥该微小液滴,由此形成各着色薄膜。利用喷墨法,与旋转涂层(spin-coat)法或分配器(dispenser)法等其他的液相工序相比,能够降低液体的使用量,而且,可以进一步高精度控制着色薄膜的形成位置。然而,在喷墨法的情况下,在微小液滴干燥的过程中,对应于微小液滴的粘度或对于着色薄膜形成区域的接触角、而且,着色薄膜形成材料的浓度等,在微小液滴内的着色薄膜形成材料的浓度分布上产生变动。因而,存在难以按希望控制着色薄膜的膜厚分布的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够形成具有希望的结构剖面图的结构体的液滴喷出装置及结构体形成方法。本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出装置,其中,包括:液滴喷出部,其向基板喷出含有结构体形成材料的液滴;干燥机构,其为了在基板上形成由结构体形成材料构成的结构体,而使已滴落在基板上的液滴干燥,所述干燥机构包括:能量输出部,其为了使液滴中的结构体形成材料流动,而向已滴落在基板上的液滴输出能量;和能线图控制部,其将从所述能量输出部输出的能量的能线图,控制成为结构体形成材料流动的能线图,使得结构体形成材料对应于应形成的结构体的结构剖面图而分布。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:三浦弘纲
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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