温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型属于晶圆制造技术领域,尤其涉及一种晶圆自动上下料系统,包括升降机构、固定架、料盘、滑动轴、夹取机构和搭载台,所述固定架安装于所述升降机构的输出端,所述料盘放置于所述固定架上,所述固定架设置有出料口,所述搭载台设置于所述出料口的前方...该专利属于东莞市正远智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市正远智能装备有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型属于晶圆制造技术领域,尤其涉及一种晶圆自动上下料系统,包括升降机构、固定架、料盘、滑动轴、夹取机构和搭载台,所述固定架安装于所述升降机构的输出端,所述料盘放置于所述固定架上,所述固定架设置有出料口,所述搭载台设置于所述出料口的前方...