下载一种半导体光刻光罩盒的技术资料

文档序号:26707316

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本实用新型涉及对半导体技术的结构优化,具体为一种半导体光刻光罩盒,其内部承载结构稳定,可兼容不同掩膜板型号,与掩膜板接触部件可以多方向缓冲,底部接触面为小,承载面平稳稳,进一步保证使用存储运输过程中能更好的保证掩膜板不会损坏,包括上光罩盒壳...
该专利属于无锡旭邦精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡旭邦精密机械有限公司授权不得商用。

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