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本发明揭示一种可分开式调制器架构。所述调制器具有一在一空腔上方悬挂于一挠性层上的反射镜。所述挠性层还形成所述反射镜的支撑件及支撑柱。一替代的可分开式调制器架构具有一悬挂于一空腔上方的反射镜。所述调制器由支撑件及支撑柱来支撑。所述支撑柱包括一...
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