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液滴喷出方法和液滴喷出装置、薄膜形成方法以及器件制造方法及图纸
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文档序号:2670676
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对压力产生元件外加驱动信号而在腔内产生与驱动信号对应的压力,把收容在腔内的液状体作为液滴喷出。驱动信号包括:从比规定电位大了第一电压(Vbc)的基准电位(Vc),外加第二电压(Vch),而在腔内产生负压的第一波形部(c);以比基准电位(Vc...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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