液滴喷出方法和液滴喷出装置、薄膜形成方法以及器件制造方法及图纸

对压力产生元件外加驱动信号而在腔内产生与驱动信号对应的压力，把收容在腔内的液状体作为液滴喷出。驱动信号包括：从比规定电位大了第一电压（Ｖｂｃ）的基准电位（Ｖｃ），外加第二电压（Ｖｃｈ），而在腔内产生负压的第一波形部（ｃ）；以比基准电位（Ｖｃ）大了第二电压（Ｖｃｈ）的保持电位（Ｖｈ），把腔内的负压保持规定时间的第二波形部（ｈ）；和从保持电位（Ｖｈ）到规定电位（Ｖｂ）为止，外加第三电压（Ｖｂｈ），而对腔内进行加压的第三波形部（ｄ），其中，第一电压（Ｖｂｃ）为第三电压（Ｖｂｈ）的１０％以下。这样，即使在使用粘弹性大的材料时，也能稳定地喷出液滴。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液滴喷出方法和液滴喷出装置、薄膜形成方法以及器件和电子仪器。
技术介绍
近年，使用把微小的液状粘性物作为液滴喷出的液滴喷出装置，制造液晶显示装置、有机EL(Electroluminescence)显示器、滤色器基板、微型透镜阵列、以及其他各种器件的机会增大。通过使用所述的制造方法，与使用光刻法制造时相比，能大幅度提高生产效率。此外，对规定位置只喷出规定量的形成着色层的有机材料，来制造所述滤色器基板，此外，有机EL显示器在基板上形成构成发光层的有机材料时，使用喷出装置。液滴喷出装置在喷头中具有多个喷出液状粘性物的喷嘴，但是如果从各喷嘴不稳定地喷出液状粘性物，就产生所谓的飞行偏转，产生无法在规定位置涂敷液滴的不良情况。此外，如果在喷出量(喷出重量)上存在偏差，则制造出的微型透镜阵列形成了例如在尺寸和形状上存在偏差的微型透镜，或者制造存在颜色不均匀的滤色器或有机EL显示器。因此，为了制造所述各种器件而使用的喷出装置有必要使从各喷嘴喷出的液状粘性物的喷出量均匀。为了消除液状粘性物的喷出量的偏差，在以下的专利文献1中公开了如下的专利技术在1喷出周期内生成包含多个波形不同的驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出方法，对压力产生元件外加驱动信号而在腔内产生与所述驱动信号对应的压力，把收容在所述腔内的液状体作为液滴喷出，所述驱动信号包括：从比规定电位大了第一电压的基准电位，外加第二电压，而在所述腔内产生负压的第一波形部；以比所述基准电位大了所述第二电压的保持电位，使所述腔内的负压保持规定时间的第二波形部；和从所述保持电位至所述规定电位为止，外加第三电压，而对所述腔内进行加压的第三波形部，所述第一电压在所述第三电压的１０％以下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森山英和，蛭间敬，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]