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本发明公开一种将入射光的强度分布校正为平坦的强度分布的光学系统，该光学系统包括：第一透镜组，其包括至少一个透镜，并且具有正折射率；第二透镜组，其包括至少一个透镜，并且具有负折射率，在入射光方向上第二透镜组位于第一透镜组之后；以及第三透镜组，...
该专利属于横河电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过横河电机株式会社授权不得商用。

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