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本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底４上的第二支撑部分３１和３２；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底４上的固定部分３３和３４；固定式梳状电极３３１和３４１，其是与固定...
该专利属于精工爱普生株式会社;国立大学法人东京大学所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社;国立大学法人东京大学授权不得商用。

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