致动器及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底４上的第二支撑部分３１和３２；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底４上的固定部分３３和３４；固定式梳状电极３３１和３４１，其是与固定部分３３和３４整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极２１１和２１２啮合；和用于将固定部分３３和３４连接到第二支撑部分３１和３２上的桥接部分３５和３６。固定部分３３和３４以它们相对于第二支撑部分３１和３２向支撑衬底４偏转、同时使桥接部分３５和３６弯曲的状态被固定于支撑衬底４上，由此初始偏移固定式梳状电极３３１和３４１，以使其在支撑衬底４的厚度方向上与活动式梳状电极２１１和２１２不成直线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。相关申请的交叉引用本申请要求于2005年5月31日提交的日本专利申请No.2005-160530的优先权，该专利申请通过引用其全部内容而因此明确地结合在此。
技术介绍
例如，已知多角镜(旋转多面体)是例如设置在激光打印机中的致动器。在这种打印机中，为了达到更高的分辨率和更高的打印输出以及更高速的打印，必须以更高的速度旋转多角镜。目前，将空气轴承用来在高速下具有稳定性地旋转多角镜。但是，使用空气轴承的方法包括的问题在于，难以在比目前可能的速度高得多的速度下旋转多角镜。此外，尽管需要更大的电动机以在更高的速度下旋转多角镜，但使用这种更大的电动机产生的一个问题在于难以使其中使用多角镜的装置的尺寸小型化。此外，使用这种多角镜产生的另一个问题在于必须使用装置的结构变得复杂，从而导到制造成本增加。考虑到这些问题，已经提出了相对简单结构的致动器，其采用扭转振动器(例如，参见JP-A No.2004-13099)。在此参考文献中公开的致动器包括固定式梳状电极和活动式梳状电极，它们两个是以彼此间隔开的关系彼此啮合的。在这种类型的致动器中，向固定式梳状电极和活动式梳状电极之间施加交流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种致动器，其包含：支撑衬底；隔离器，其设置在支撑衬底上；第一支撑部分，每个第一支撑部分通过隔离器被固定在支撑衬底上；主体部分，其具有活动式梳状电极并且相对于第一支撑部分是可旋转的；弹性连接部分，分别 用于以主体部分能够相对于第一支撑部分旋转的方式使主体部分和第一支撑部分互连；至少一个第二支撑部分，其通过隔离器被固定在支撑衬底上；至少一个固定部分，其在隔离器没有干涉的条件下固定于支撑衬底上；固定式梳状电极，其是与固 定部分作为一个整体形成的或是连接到固定部分，并且以彼此间...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：与田光宏，谏本圭史，年吉洋，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，国立大学法人东京大学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]