下载光学滤波器和光学滤波器的制造方法的技术资料

文档序号:2669597

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本发明的光学滤波器的制造方法使用研磨机对基体的两个主面进行研磨加工。如果研磨加工基体的两个主面,则使用蒸镀法在基体的一个主面上蒸镀形成第一侧膜。另外,在膜的蒸镀形成时,对一个主面施加应力,与一个主面相对的端边向其他主面侧的方向形变。在第一膜...
该专利属于株式会社大真空所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大真空授权不得商用。

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