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包括垂直集成的光学和电子器件并且包含超晶格的半导体器件和方法技术
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下载包括垂直集成的光学和电子器件并且包含超晶格的半导体器件和方法的技术资料
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半导体器件可以包括其上具有波导的基板以及覆盖基板和波导的超晶格。超晶格可以包括堆叠的层组,其中每个层组包括限定基础半导体部分的堆叠的基础半导体单层,以及被限制在相邻基础半导体部分的晶格内的至少一个非半导体单层。该半导体器件还可以包括在超晶格...
该专利属于阿托梅拉公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿托梅拉公司授权不得商用。
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