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单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置制造方法及图纸
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下载单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置的技术资料
文档序号:26695115
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一种单晶硅的制造方法,使不活泼气体在腔室内流过,并且对石英坩埚内的硅熔液施加水平磁场,从而提拉单晶硅,在所述单晶硅的制造方法中实施:在热屏蔽体的下端部及石英坩埚内的硅熔液表面之间流过的不活泼气体流中,形成相对于包含提拉装置的晶体提拉轴以及水...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
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