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一种装置包括基板、在基板顶部的竖直腔表面发射激光器(VCSEL)阵列、穿过基板和VCSEL阵列的过孔、从VCSEL阵列的顶部穿过过孔延伸到基板底部的第一电极(第一电极电连接到VCSEL阵列)、在基板底部的第二电极(第二电极电连接到VCSEL...
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