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一种平坦化FBAR谐振器制备方法，包括：在衬底上形成下电极；在下电极和衬底上形成介质层，具有第一厚度；平坦化介质层以将第一厚度减小为第二厚度；刻蚀介质层直至暴露下电极；在下电极和衬底上形成压电层；在压电层上形成上电极。依照本发明的谐振器制造...
该专利属于苏州汉天下电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州汉天下电子有限公司授权不得商用。

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