下载紫外LED外延结构、光源器件及紫外LED外延结构制备方法的技术资料

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本发明属于半导体器件技术领域,涉及一种紫外LED外延结构、光源器件及紫外LED外延结构的制备方法,该紫外LED外延结构包括衬底基材以及依次层叠设置于所述衬底基材顶面上的n型电流扩展层、有源发光结构和p型电流扩展层;其中,所述衬底基材包括合金...
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