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本发明涉及太阳能电池生产领域,一种新型p型晶硅电池发射极接触钝化制备工艺,按照清洗制绒、扩散制结、去PSG及背刻蚀、高温氧化、正面减反膜、背面钝化及减反膜、正面激光开槽、发射极重掺杂、去PSG、背面激光开槽、丝网印刷的工艺进行,其中,发射极...该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及太阳能电池生产领域,一种新型p型晶硅电池发射极接触钝化制备工艺,按照清洗制绒、扩散制结、去PSG及背刻蚀、高温氧化、正面减反膜、背面钝化及减反膜、正面激光开槽、发射极重掺杂、去PSG、背面激光开槽、丝网印刷的工艺进行,其中,发射极...