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紫外探测器及其制备方法技术
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文档序号:26692436
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本申请属于探测器技术领域,尤其涉及一种紫外探测器的制备方法,包括步骤:获取衬底层,在所述衬底层上沉积MgZnO靶材,形成MgZnO晶种层;在所述MgZnO晶种层上生长MgZnO纳米棒,形成MgZnO纳米棒阵列层;在所述MgZnO纳米棒阵列层...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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