下载太阳能电池及磷、氢掺杂单晶硅的制备方法的技术资料

文档序号:26692416

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本申请提供太阳能电池及磷、氢掺杂单晶硅的制备方法,太阳能电池包括半导体衬底、位于半导体衬底正面的掺杂层、位于掺杂层上表面的正面钝化层和/或减反层、位于正面钝化层和/或减反层上表面的正面电极、位于半导体衬底背面的隧穿氧化层、位于隧穿氧化层背面...
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