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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:26692386
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一种半导体结构及其制造方法,其结构包括第一掺杂类型的衬底、穿通区、第一注入区以及第二注入区,穿通区、第一注入区以及第二注入区为第二掺杂类型,穿通区上定义有沟槽区,沟槽区将衬底划分为多个芯片区;第一注入区和第二注入区均与穿通区相连通。第一注入...
该专利属于浙江里阳半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江里阳半导体有限公司授权不得商用。
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