温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开为一种用于处理基板的方法，所述方法包括通过将处理液供应到液体处理腔室中的所述基板上而在所述基板上执行液体处理的液体处理步骤，将所述基板从所述液体处理腔室传送至干燥腔室的传送步骤，以及在干燥腔室中干燥所述基板的干燥步骤。在干燥步骤中，在...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。