下载一种基于维恩分析器校正二阶像差的设计方法的技术资料

文档序号:26692218

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本发明公开了一种基于维恩分析器校正二阶像差的设计方法,针对有偏转系统的存在时,此时沿着光轴附近将场函数做级数展开分析系统电子光学特性,能够分析因偏转带来的二阶像差。利用维恩分析器,通过给圆弧电极施加电压信号激励,让分析器产生所需的四极场,叠...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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