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本申请公开了一种薄膜电容器的制备方法以及薄膜电容器，其中，该制备方法包括：提供一衬底；在所述衬底上依次形成牺牲层、介电薄膜层、第一电极层和电容器基底层；去除所述衬底和所述牺牲层；在所述介电薄膜层远离所述第一电极层的一侧形成第二电极层，以得到...
该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。

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