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飞秒激光真三维微纳加工中心制造技术
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文档序号:2669100
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本发明公开了一种飞秒激光真三维微纳加工中心,沿飞秒激光产生放大系统的输出光束方向上设置反射镜,反射镜与输出光束的负向夹角为45°,沿反射后的光轴方向在反射镜下方设置多轴联动微动工作台,在反射镜和多轴联动微动工作台中间的光轴方向上设置聚焦透镜...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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