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本发明公开了一种用于光刻机的晶片吸盘，支撑台的底面上成型有圆柱槽状的旋转安置槽；旋转安置槽内旋转设置有圆柱状的中心切换块；中心切换块的下侧壁上成型有四个圆周均匀分布的分配孔；中心切换块的下侧壁中心成型有与导气总管连通的中心导气孔；内移动槽的...
该专利属于咸宁恒舟信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过咸宁恒舟信息科技有限公司授权不得商用。

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