下载一种杂散光偏转器、光芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:26688732

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本发明公开了一种杂散光偏转器、光芯片及其制作方法。本发明基于灰度刻蚀的方式在芯片开设凹槽,在凹槽的槽壁上镀设可将不同波长杂散光反射至外部空间的金属反射层构成杂散光偏转器,能够有效的去除光芯片的不同波长、不同模式、不同角度的杂散光,且工艺步骤...
该专利属于珠海奇芯光电科技有限公司;西安奇芯光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海奇芯光电科技有限公司;西安奇芯光电科技有限公司授权不得商用。

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