下载反射镜器件、反射镜阵列、光开关及其制造方法的技术资料

文档序号:2668800

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一种反射镜器件,包括:被支撑成可相对于反射镜基板(151)转动的反射镜(153);被形成在面对该反射镜基板(151)的电极基板(101)上的驱动电极(103-1至103-4);以及被布置在该反射镜(153)和电极基板(101)之间的间隙中的...
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