反射镜器件、反射镜阵列、光开关及其制造方法技术

一种反射镜器件，包括：被支撑成可相对于反射镜基板（１５１）转动的反射镜（１５３）；被形成在面对该反射镜基板（１５１）的电极基板（１０１）上的驱动电极（１０３－１至１０３－４）；以及被布置在该反射镜（１５３）和电极基板（１０１）之间的间隙中的抗静电结构（１０６）。该结构能够通过向抗静电结构（１０６）施加第二电势，来固定该反射镜（１５３）下表面的电势，并抑制该反射镜（１５３）的漂移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种反射镜器件，其特征在于，包括：被支撑成能够相对于反射镜基板转动的反射镜；被形成在面对所述反射镜基板的电极基板上的驱动电极；以及被布置在所述反射镜和所述电极基板之间的间隙中的抗静电结构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：下川房男，内山真吾，山口城治，佐藤诚，笹仓久仁彦，森田博文，稻垣秀一郎，町田克之，石井仁，
申请(专利权)人：日本电信电话株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]