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本发明属于微传感器领域，具体涉及一种新型基于MEMS技术的芯片级谐振式声光耦合固态波动陀螺。该陀螺将声表面行波模式敏感结构与谐振式微环谐振腔光学检测结构结合在一起应用于陀螺仪中，利用声光效应将一次声表面波与科氏力导致的二次声表面波振动引起器...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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