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本发明公开了一种高钪铝钪合金靶的靶材与铜背板的绑定结构及绑定方法。它的结构特点是，铜背板连接高钪铝钪合金靶材，限位元件通过连接元件同铜背板固定圈相连接，且该限位元件同所述高钪铝钪合金靶材的前表面外周相连而使钪铝钪合金靶材保持同铜背板连接。所...
该专利属于长沙神弧离子镀膜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙神弧离子镀膜有限公司授权不得商用。

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