下载一种激光加工设备及锥度改善方法的技术资料

文档序号:26679921

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本发明涉及一种激光加工设备,包括激光器模块、光路模块、激光扫描模块、精密运动平台、对准模块和控制单元。本发明还公开了基于上述激光加工设备的锥度改善方法,包括三个步骤。本发明的激光加工设备和锥度改善方法,通过运动台在竖直面向内一定角度的弧摆运...
该专利属于上海市激光技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海市激光技术研究所授权不得商用。

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