一种激光加工设备及锥度改善方法技术

本发明专利技术涉及一种激光加工设备，包括激光器模块、光路模块、激光扫描模块、精密运动平台、对准模块和控制单元。本发明专利技术还公开了基于上述激光加工设备的锥度改善方法，包括三个步骤。本发明专利技术的激光加工设备和锥度改善方法，通过运动台在竖直面向内一定角度的弧摆运动，对激光的加工工艺进行优化，可以有效改善激光加工中的锥度问题，提高待加工物料的加工质量，和通过光路优化，改变光斑特性的方法相比，可以减小系统设计的复杂度，降低系统开发成本。

【技术实现步骤摘要】
一种激光加工设备及锥度改善方法
本专利技术涉及一种激光加工设备及锥度改善方法，属于激光加工

技术介绍
激光加工是利用高功率密度激光束照射被切割材料，使材料很快被加热至汽化温度，蒸发形成孔洞，随着光束对材料的移动，孔洞连续形成宽度很窄的切缝，完成对材料的切割。结合图4所示，针对现有的激光加工工艺，能量分布为高斯分布的激光束，在到达工作面后，由于其光斑特性，激光束对待加工物料的加工剖面进行切割后，在加工剖面容易形成一定的加工锥度，造成被加工物料的上下加工面的切割深度不一致，影响了加工质量。现有技术多采用优化光路改变光斑特性的方法改善加工面的锥度，需要增加部件，开发成本高也增加了系统的复杂度。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种激光加工设备，能够用于改善物料加工面的锥度，提高物料的加工质量。为了解决上述问题，本专利技术采用的技术方案如下：一种激光加工设备，它包括：激光器模块，产生加工所用的激光束；光路模块，用于对激光束进行整形以及改变激光束的传播路径，所述激光束本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工设备，其特征在于，它包括：/n激光器模块，产生加工所用的激光束；/n光路模块，用于对激光束进行整形以及改变激光束的传播路径，所述激光束经过所述光路模块后入射至激光扫描模块；/n激光扫描模块，用于按照待加工物料的扫描路径调整所述激光束，使得所述激光束按照扫描路径对待加工物料进行扫描；/n精密运动平台，包括运动控制器和运动台，所述运动控制器用于控制运动台在竖直平面内的弧摆运动，所述运动台用于放置待加工物料；/n对准模块，用于观测所述运动台竖直面内的弧摆运动位置；/n控制单元，包括上位机和与它连接的扫描控制器，所述上位机分别与对准模块及运动控制器相连接，所述扫描控制器分别与激光器模块...

【技术特征摘要】
1.一种激光加工设备，其特征在于，它包括：
激光器模块，产生加工所用的激光束；
光路模块，用于对激光束进行整形以及改变激光束的传播路径，所述激光束经过所述光路模块后入射至激光扫描模块；
激光扫描模块，用于按照待加工物料的扫描路径调整所述激光束，使得所述激光束按照扫描路径对待加工物料进行扫描；
精密运动平台，包括运动控制器和运动台，所述运动控制器用于控制运动台在竖直平面内的弧摆运动，所述运动台用于放置待加工物料；
对准模块，用于观测所述运动台竖直面内的弧摆运动位置；
控制单元，包括上位机和与它连接的扫描控制器，所述上位机分别与对准模块及运动控制器相连接，所述扫描控制器分别与激光器模块及激光扫描模块相连接，用于控制激光器模块及激光扫描模块。


2.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：
所述激光器模块为飞秒激光器，所述激光束为高斯激光。


3.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：
所述光路模块包括整形扩束单元和光束切换单元，所述整形扩束单元用于调节所述激光束的平行度和光斑大小，所述光束切换单元用于改变所述激光束的传播路径。


4.根据权利要求3所述的激光加工设备，其特征在于：
所述光束切换单元包括沿依次布设的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和第四反射镜。


5.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：
所述激光扫描模块包括扫描振镜和聚焦透镜，用于将所述激光束聚焦到待加工物料表面。


6.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志宇，王丽，骆公序，汪于涛，
申请(专利权)人：上海市激光技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31