下载一种用于焊接元件的多模块封装真空炉及其使用方法的技术资料

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本申请提供一种用于焊接元件的多模块封装真空炉,包括真空腔、治具、升降装置、移动挡板机构、加热机构、水冷机构、阀泵机构以及控制装置;所述升降装置、移动挡板机构、加热机构、水冷机构和阀泵机构与控制装置通讯连接。本申请还提供了一种上述真空炉的使用...
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