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一种用于焊接元件的多模块封装真空炉及其使用方法技术
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文档序号:26679839
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本申请提供一种用于焊接元件的多模块封装真空炉,包括真空腔、治具、升降装置、移动挡板机构、加热机构、水冷机构、阀泵机构以及控制装置;所述升降装置、移动挡板机构、加热机构、水冷机构和阀泵机构与控制装置通讯连接。本申请还提供了一种上述真空炉的使用...
该专利属于北京仝志伟业科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京仝志伟业科技有限公司授权不得商用。
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