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本发明公开了光集成电路，其具有横穿透镜或波导光栅的间隙（１８）和可控制地定位在间隙（１８）的每侧的光集成电路上的致动器（１２）。结果，减轻了光集成电路（例如，阵列波导光栅）的热敏感性。本发明还公开了采用间隙（１８）和致动器（１２）制造光集成...
该专利属于光波微系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过光波微系统公司授权不得商用。

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