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低折射率二氧化硅类涂膜形成用组合物制造技术
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文档序号:2667905
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本发明提供一种可以形成固体摄像器的透镜的保护膜、光波导路等光学部件中的低折射率层的低折射率二氧化硅类涂膜形成用组合物。该低折射率二氧化硅类涂膜形成用组合物含有硅氧烷聚合物和烷基季胺。作为上述硅氧烷聚合物,优选使用由(1)所表示的至少一种硅烷...
该专利属于东京应化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。
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