下载确定投影系统中微镜的偏转的技术资料

文档序号:2667862

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本发明涉及一种具有光源(2)、尤其是具有激光光源的投影系统,其中从所述光源(2)出发通过偏摆镜(1)产生投影光束(6)。根据本发明,设置至少一个被布置于所述投影光束(6)的边缘区中的光探测器(3)来用于检测所述偏摆镜(1)的位置。...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。

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