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本发明的各种实施例涉及用于ＭＥＭＳ装置的热补偿的方法和系统。在某些实施例中，干涉式调制器包括位于衬底上的第一电极和柔性第二电极。柔性第二电极是可包含铝或含铝材料的可移动层，而所述衬底可包含玻璃。当干涉式调制器经受温度变化时，热膨胀速率的差异...
该专利属于IDC公司所有，仅供学习研究参考，未经过IDC公司授权不得商用。

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